一种基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器

摘要

本发明公开一种基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器，包括柔性线圈，绝缘层、柔性环形磁薄膜，柔性圆形磁振子和弹性基底，柔性线圈位于两层柔性环形磁薄膜中间的空心处，且柔性线圈的上下表面均为绝缘层；柔性圆形磁振子位于柔性线圈中间的空心处，厚度小于两层柔性环形磁薄膜的总厚度，且上下表面分别与固定在传感器底部和顶部的弹性基底连接构成惯性振子。本发明的电磁式柔性振动传感器，实现电磁式柔性振动传感器的柔性化，扩展其在生物医学检测领域和其他需要考虑传感器形态的场景中的应用。