金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法

摘要

本发明是一种金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法。目前金刚石薄膜窗口透光波段的研究及应用局限在2.5-25μ范围，使用中受到限制。本发明用电子束辅助热灯丝化学气相沉积方法；两步法高密度成核金刚石优化生长工艺；多光束干涉法薄膜厚度监控，克服了光在近红外波段的散射问题，研制成功具有光学镜面级表面的金刚石薄膜，制得的窗口用于近红外(1.1-1.8μ)探测器，灵敏可靠，抗高温，抗腐蚀，抗水，抗尘，坚硬耐磨，维护方便。