一种钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明提供了一种钛酸钡‑钌酸锶纳米复合薄膜材料及其制备方法，所述材料组成的体积比为SrRuO₃:2～9％，BaTiO₃:91～98％，该材料微结构的特点是SrRuO₃纳米粒子均匀地分布在BaTiO₃基体上。本发明的钛酸钡‑钌酸锶纳米复合薄膜材料的优点为：介电常数与纯钛酸钡薄膜相比增加了10～24％；并且具有良好的铁电极化性能，其剩余极化强度达到40.3μC/cm²，饱和极化强度达到47.8μC/cm²，与钛酸钡薄膜对比剩余极化强度提高了950％，饱和极化强度提高了140％。该复合薄膜作为无铅铁电材料在铁电随机存储器、薄膜电容器、传感器、致动器等集成铁电器件上具有广阔的应用前景。