用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法

摘要

本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫描，共采集连续的干涉图N幅，并对干涉图进行相位φ(z)求解，再根据φ(z)求解对比度U(z)，找出对比度最大的干涉图；以对比度最大的干涉图为第(n+1)/2幅干涉图，在其前后共取连续的n+1幅干涉图，第1幅至n幅相移干涉图采用n幅相移算法复原得到相位φ₁，第2幅至n+1幅相移干涉图同样采用n幅相移算法复原得到相位φ₂，将φ₁和φ₂的平均值作为最终相位。本算法能够有效消除相位复原误差，是一种实用、快速、高精度的形貌复原算法。