一种红外辐射探测装置及暗场背散射光学读出方法

摘要

本发明适用于辐射探测领域，提供一种红外辐射探测装置及暗场背散射光学读出方法，包括红外透明衬底、光学透明衬底和连接环，所述红外透明衬底底部中间位置通过所述支撑柱连接所述热光调制单元，所述热光调制单元包括红外吸收层以及位于红外吸收层底面的光学微腔层，所述光学微腔层内设有纳粒子层，所述光学透明衬底顶部设有透镜系统，所述光学透明衬底底部设有光电探测器，所述光电探测器内设有光敏单元，所述连接环通过两端的环形口连接所述红外透明衬底和光学透明衬底，并形成具有一定高度的封闭真空腔，本发明采用暗场散射光读出，噪音小，灵敏度高，系统的体积和重量也相对较小，易于实现小型化探测系统。