一种圈梁结构高性能压电加速度计

摘要

本发明提供了一种圈梁结构高性能压电加速度计，包括圈梁结构、压电元件、上外壳和下外壳，圈梁结构包括一体设置的环形梁、多个弹性梁臂和中心基板，中心基板设置在环形梁的中心处，多个弹性梁臂均匀布置在环形梁内，中心基板为正N边形基板，在中心基板的每个侧面上配合一弹性梁臂，且每个弹性梁的另一端与环形梁内壁固定连接，在中心基板的上下表面各配合一同形状的中心质量块，在每个弹性梁臂的上下表面均设置压电元件，上外壳和下外壳围合成容纳圈梁结构的空腔，上外壳和下外壳夹紧所述的环形梁设置。本发明利用梁的弯曲模态，提升灵敏度；高对称性不但提升带宽而不损失性能，又提高了抗扭转力及抗干扰能力。