一种沟槽结构四臂压电式加速度计的仿真设计

董明; 惠春; 徐爱兰

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一种沟槽结构四臂压电式加速度计的仿真设计

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介绍了现有四臂压电式加速度计的工作原理及ANSYS软件在压电式加速度计方面的应用.将传统的四臂压电式加速度的悬臂梁改用沟槽式结构.并使用ANSYS软件进行仿真分析,发现沟槽结构的加速度计的灵敏度可以高达0.633 5 mV/gn,远高于平坦基体表面结构式加速度计的灵敏度(0.281 95 mV/gn).

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来源
《传感器与微系统》 |2006年第4期|52-54,57|共4页
作者
董明; 惠春; 徐爱兰;
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作者单位

上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.14;
关键词
微机电系统; 加速度计; 沟槽;

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