光栅选支快速调谐激光谐振腔

摘要

本发明一种光栅选支快速调谐激光谐振腔，涉及激光技术，该激光谐振腔用伺服电机驱动光栅转台高速旋转和精确定位，实现光栅选支激光器的快速谱线调谐。该激光谐振腔由腔体、激光输出镜、光栅、光栅转台、伺服电机、伺服电机驱动模块及自动控制模块等部分组成，其中的输出镜为部分反射部分透射型球面镜或平面镜，光栅为反射式平面或球面衍射光栅。输出镜和光栅共一光轴，且光栅法线与光轴成自准直角。本发明实现了光栅选支激光器的快速调谐输出，有调谐速度快、调谐范围大、调谐精度高等优点。适用于脉冲CO₂激光器、脉冲CO激光器、脉冲HF/DF激光器等多种可调谐脉冲激光器，在激光大气探测、激光化学、激光加工等领域有广泛的应用前景。