公开/公告号CN108699691B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-03
原文格式PDF
申请/专利权人 北美AGC平板玻璃公司;旭硝子株式会社;AGC玻璃欧洲公司;
申请/专利号CN201680081988.6
申请日2016-11-08
分类号C23C16/513(20060101);C23C4/134(20060101);H01J37/063(20060101);H05H1/02(20060101);H05H1/24(20060101);H05H1/54(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人韩宏;夏青
地址 美国乔治亚州
入库时间 2022-08-23 12:25:33
机译: 空心阴极离子源以及提取和加速离子的方法。
机译: 空心阴极离子源以及离子的提取和加速方法
机译: 空心阴极离子源和离子的提取和加速方法