利用外差干涉法对激光波长进行测量的方法及装置

摘要

利用外差干涉法对激光波长进行测量的方法及装置，属于激光测量技术领域。本发明先将被测单频激光进行移频，产生双频激光，从而得到外差信号。采用外差干涉系统将调制为双频激光后的标准波长激光和被测激光耦合到同一干涉系统中，经干涉仪臂长的一段变化，比较两激光外差信号的位相改变量，获得被测光波长值。本发明不同于以往波长测量中采用的单频干涉测量，单频干涉测量只能测量、比较单频激光的干涉条纹的整数级次，而外差干涉法测量则采用测量、比较激光外差信号的相位改变量，提高了波长测量精度。同时由于采用外差方法，测量信号为交流信号，便于放大、信噪比高，具有从高背景噪声中提取小信号的优势。