一种扫描电子显微镜成像缺陷判定方法

摘要

本发明提供一种扫描电子显微镜成像缺陷判定方法，用于对受机械振动影响的扫描电子显微图像成像质量进行评价，属于电子显微领域。本发明通过以下技术方案实现：(1)扫描电子显微镜成像缺陷的定义；(2)选取扫描电子显微镜在机械振动方面的关键部位；(3)利用所选取关键部位的机械振动测量数据进行电子束参数的传递计算，预测电子束在被观察样品表面的实际照射位置相对理想照射位置的偏离量；(4)绘制照射位置对照图将电子束照射位置偏离量的预测结果可视化；(5)根据照射位置对照图判定成像缺陷的性质和程度。