一种原子级材料束流在真空中变温液体包覆收集方法与装置

摘要

原子级材料束流在真空中变温液体包覆收集方法，使用流动的低蒸气压液体在真空中收集飞行的原子级材料束流，以液相对准材料束流照射面积并收集材料束流，液相采用低蒸气压特种液体。启动材料源产生原子级材料束流；选择所需的原子及材料尺寸，优化条件使其的产生量达到最高。将材料束流经过聚焦后引导至液体收集装置前，对准液体收集皿的收集口；收集时启动液体收集装置，使液体载体，在收集皿中来回循环流动。