公开/公告号CN109690410B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201780055481.8
申请日2017-08-21
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华;董典红
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 12:19:33
机译: 用于确定波形的装置,用于确定波形的方法,液体液滴喷射器,用于喷射液体液滴的方法,用于沉积膜的过程,用于制造设备的方法,光电器件以及用于通过减小液滴的结晶稳定性来改善液滴的稳定性的电气设备
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