一种具有规则裂纹结构的柔性应变传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种具有规则裂纹结构的柔性应变传感器及其制作方法，其为层状结构，顶层和底层为柔性应变传感器的绝缘封装层，中间为柔性应变传感器的力学敏感层；其中力学敏感层包括至少一层的具有规则裂纹的高导电材料层和至少一层的半导电材料层。本发明的柔性应变传感器具有高一致性、高重复性、高灵敏度和高可拉伸特性等特点，且其制作工艺简单、制作成本低，易于大规模生产，具有极高的市场价值和产业化潜力。