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安置于具有一个或者多个腔体的金属衬底上的碳纳米管

摘要

在此提供的是安置于含有一个或者多个腔体的金属衬底上的碳纳米管、其加工方法和使用方法。在一些实施例中,提供了一种包含安置于含有一个或者多个腔体的金属衬底上的碳纳米管的装置。

著录项

  • 公开/公告号CN107004607B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 恩瑟玛公司;

    申请/专利号CN201580055441.4

  • 发明设计人 C·V·恩固因;V·V·彼;

    申请日2015-10-13

  • 分类号H01L21/48(20060101);

  • 代理机构31218 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人翟羽

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 12:18:40

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