包括惯性基准质量的用于主动隔振的致动器装置

摘要

致动器装置，具有致动器(8)、基准质量(22)、弹簧(24)和第一传感器(26；42，43；32，36)。该致动器(8)在第一物体(2)和第二物体(16；54)之间施加力。在使用中，该基准质量(22)通过弹簧(24)被第三物体(16；56)支撑。该第一传感器(26；42，43；32，36)生成依赖于该基准质量(22)和该第一物体(2)之间的第一距离(z2；z5，z6；z3，z4)的第一距离信号，并施加到控制器(6)以激励该致动器(8)。