一套防止加热盘边缘热量损失的保温罩

摘要

本发明属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域，涉及一套防止加热盘边缘热量损失的保温罩。该保温罩设置在腔室内衬和加热盘边缘上，即包括腔室内壁保温罩和加热盘边缘罩，所述腔室内壁保温罩为在腔室的底部、顶部、围墙即在做薄膜沉积时的加热盘(8)的周围设置一层三维保温罩，所述加热盘边缘罩为在加热盘(8)上加盖一组保温盖，包括边缘保温罩(9)和顶部保温盖(10)。本发明的目的是防止腔室内加热盘边缘热量损失，且保证晶圆工艺环境温度均匀，使沉积对温度要求很高的膜时其质量不被温度所影响。