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压电元件、压电传声器、压电谐振子以及压电元件的制造方法

摘要

本发明提供能够高精度地进行相邻的压电体层的极化轴方向的控制的双压电晶片型的压电元件。本发明涉及的压电元件(1)具备:第一压电体层(4),在厚度方向具有第一极化轴方向(P1),并且由AlN构成;第二压电体层(5),堆积在第一压电体层(4)上,具有与第一极化轴方向(P1)相反方向的第二极化轴方向(P2),并且由GeAlN构成;第一电极(3a),设置于第一压电体层(4)的与第二压电体层(5)侧相反的一侧;以及第二电极(3b),设置于第二压电体层(5)的与第一压电体层(4)侧相反的一侧。

著录项

  • 公开/公告号CN108140723B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社村田制作所;

    申请/专利号CN201680060519.6

  • 发明设计人 梅田圭一;水野孝昭;

    申请日2016-11-17

  • 分类号H01L41/187(20060101);H01L41/09(20060101);H01L41/113(20060101);H01L41/257(20060101);H01L41/316(20060101);H03H9/17(20060101);H04R17/02(20060101);H04R31/00(20060101);

  • 代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人李洋;舒艳君

  • 地址 日本京都府

  • 入库时间 2022-08-23 12:16:20

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