公开/公告号CN109661480B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 住友金属矿山股份有限公司;
申请/专利号CN201780051663.8
发明设计人 大上秀晴;
申请日2017-08-23
分类号C23C14/56(20060101);C23C16/54(20060101);H05K3/00(20060101);H05K3/16(20060101);
代理机构11314 北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟;王锦阳
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 12:14:54
机译: 卷对卷表面处理装置以及使用该装置的成膜方法和成膜装置
机译: 卷对卷表面处理装置以及使用该装置的成膜方法和成膜装置
机译: 卷对卷表面处理装置以及使用该装置的成膜方法和成膜装置