一种有序排布金刚石微纳米锥阵列工具的制备方法

摘要

一种有序排布金刚石微纳米锥阵列工具的制备方法，其特征是通过在衬底上沉积纳米金刚石薄膜，使用超短脉冲激光等方法制备孔径与位置可控的微孔阵列溅射掩膜板，使用磁控溅射设备通过微孔阵列掩膜板在纳米金刚石薄膜上沉积有序排布的金属掩膜点阵列。使用微波化学气相沉积（MPCVD）等设备对衬底加热使金属掩膜点液化并收缩成掩膜点球，并刻蚀出具有一定前倾角的微锥阵列，从而制备出形貌、尺寸、倾角可控的有序排布的微锥阵列的金刚石工具。本发明加工工艺简单、操作容易、成本低、高精度、高效率的特点。