垂直磁记录介质软磁性底层用钴基合金靶材的制造方法

摘要

垂直磁记录介质软磁性底层用钴基合金靶材的制造方法，包括下述步骤，按量取Co、Ta、Zr三种元素原料放入坩埚中，进行真空熔炼并浇铸成铸锭，将所得铸锭进行热等静压，后进行热轧变形；将热轧锭进行机加工制得所需形状的靶材。本发明工艺方法简单，成本低，材料性能好且质量稳定，所生产的钴钽锆合金靶材纯度高、成份均匀、透磁率高，适于工业化生产，可替代现有垂直磁记录介质软磁性底层用钴基合金靶材的生产方法。