一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法

摘要

本发明公开了一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，包括下述步骤，按量取Fe、Co、Ta、Zr四种元素原材料放入坩埚中，进行真空熔炼，采用高温精炼和低温精炼相结合的方法，配合电磁搅拌工艺浇注到模具中形成钴铁钽锆的铸锭坯料，将铸锭坯料机加工成所需形状的靶材。本发明采用常规真空感应熔炼工艺制备钴铁钽锆靶材，可有效保证靶材成份均匀，纯度高，工艺简单、成本低、材料性能好且质量稳定。