一种双面选择性发射极高效晶硅电池及其制备方法

摘要

本发明属于太阳能光伏行业领域，具体提供了一种双面选择性发射极高效晶硅电池及其制备方法；采用双面选择性发射极的结构，在硼掺杂的重掺杂区域为氧化铝代替氧化硅作为遂穿层的多晶硅结构，可达到超过>1E20atom/cm³的恒定表面浓度提升填充因子(FF)，而轻扩区域为单纯的硼掺杂，重扩和轻扩的硼掺杂工艺可在一步中实现，简化了流程。对于磷掺杂区域采用氧化硅作为遂穿层，重掺杂区域为双层多晶硅(poly)结构具有高表面浓度，改善金属化接触，轻扩区域为单层浅掺杂poly结构，进而提升开路电压(Voc)。双面选择性发射极的形成有效地利用了掩膜刻蚀的方式。此结构可有效的提升电池效率，且适合批量化生产。