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TFT阵列基板的制作方法及TFT阵列基板

摘要

本发明提供一种TFT阵列基板的制作方法及TFT阵列基板。本发明的TFT阵列基板的制作方法中,形成在第二金属材料膜上的光阻层包括与第一走线相交叉的光阻条,光阻条包括位于第一走线上方的第一部分及分别与第一部分两端连接的两个第二部分,第一部分两侧边缘分别突出于第二部分的两侧边缘,第一部分与两个第二部分的交界在竖直方向的投影分别位于第一走线的两侧,从而在蚀刻去除第二金属材料膜未被光阻层覆盖的部分后,得到与第一走线相交叉的第二走线,且第二走线与第一走线交叠的部分的两侧边缘突出其他部分的两侧边缘,能够避免TFT阵列基板在其两层金属层中走线的跨线处产生静电击伤。

著录项

  • 公开/公告号CN109634006B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TCL华星光电技术有限公司;

    申请/专利号CN201811468728.1

  • 发明设计人 夏青;柴立;

    申请日2018-12-03

  • 分类号G02F1/1362(20060101);

  • 代理机构44265 深圳市德力知识产权代理事务所;

  • 代理人林才桂;鞠骁

  • 地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

  • 入库时间 2022-08-23 12:11:10

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