首页> 中国专利> 移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法

移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法

页面导航

摘要
著录项
相似文献

摘要

本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

著录项

公开/公告号CN109791366B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-23

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社尼康;
展开▼

申请/专利号CN201780058903.7
发明设计人青木保夫;
展开▼

申请日2017-09-29
分类号G03F7/20(20060101);G01B11/00(20060101);G03F9/00(20060101);H01L21/68(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人王涛;任默闻
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 12:11:07

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法 [P] . 中国专利： CN109791366B . 2021.07.23
2. 移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法 [P] . 中国专利： CN109791364B . 2021.04.27
3. MOVING BODY APPARATUS AND METHOD OF MOVING BODY, EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE [P] . 日本专利： JP2019204109A . 2019-11-28

机译：移动体装置和移动体的方法，曝光装置和曝光方法，以及制造平板显示器的方法和制造装置的方法
4. MOVEMENT BODY DEVICE, EXPOSURE DEVICE, FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD, MOVEMENT BODY DRIVING METHOD AND EXPOSURE METHOD [P] . 日本专利： JP2013217949A . 2013-10-24

机译：移动体装置，曝光装置，平板显示器制造方法，装置制造方法，移动体驱动方法及曝光方法
5. Moving body apparatus and moving method, exposure apparatus and exposure method, flat panel display manufacturing method, and device manufacturing method [P] . 日本专利： JP6558721B2 . 2019-08-14

机译：移动体装置和移动方法，曝光装置和曝光方法，平板显示器的制造方法以及装置的制造方法