具有电弧处理能力的高峰值功率等离子体脉冲电源

摘要

本发明提供了一种新的磁控溅射装置，通常包括一个脉冲电源，该脉冲电源能够提供的峰值功率为0.1兆瓦特到数兆瓦特，峰值功率密度大于1kW/cm²。该电源有一个脉冲电路，该脉冲电路包括一个储能电容和一个通过开关装置串联的电感，检测到电弧现象时，该开关装置将脉冲电路与等离子体断开，并将电感能量循环回到储能电容。储能电容和串联电感提供对等离子体的阻抗匹配，限制有电弧时电流的上升率和峰值幅度，对到等离子体的电压脉冲进行整形。