法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F 1/13 授权公告日:20090225 终止日期:20171211 申请日:20061211
专利权的终止
2009-02-25
授权
授权
2009-02-25
授权
授权
2007-10-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-08-15
公开
公开
2007-08-15
公开
公开
查看全部
机译: 反射率测定装置,温度测定装置以及基板热处理装置以及反射率测定方法,温度测定方法以及基板热处理方法
机译: 反射率测定装置,反射率测定方法,膜厚测定装置以及膜厚测定方法
机译: 反射率测定装置,反射率测定方法以及反射率测定程序