反射率测定装置、反射率测定方法、膜厚测定装置及膜厚测定方法

摘要

本发明的反射率测定装置（1）具备：测定光源（30），对测定对象物供给照射光（L1）；分光检测部（80），对各波长检测照射光（L1）的强度及来自测定对象物的反射光（L2）的强度；系数记录部（92），记录将照射光（L1）的各波长的强度检测值转换成相当于来自基准测定对象物的反射光（L2）的各波长的强度检测值的转换系数K(λ)；及反射率计算部（93），基于根据照射光（L1）的各波长的强度检测值及转换系数K(λ)求得的、相当于来自基准测定对象物的反射光（L2）的各波长的强度的值，计算各波长的反射率。由此，可高精度地测定测定对象物的各波长的反射率。