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一种Fe/C60颗粒薄膜霍尔效应材料及制备方法

摘要

本发明涉及一种Fe/C60颗粒薄膜霍尔器件材料及其制备方法。该霍尔器件材料为纳米金属Fe颗粒随机分布于有机半导体C60母体中构成的Fe/C60复合薄膜,薄膜采用共蒸发的方法制备,制备过程中通过调控Fe和C60蒸发源的输入电流来改变Fe和C60的体积比,通过改变沉积时间来调控颗粒薄膜的厚度。该方法制备出的Fe/C60颗粒薄膜具有很高的反常霍尔电阻率和反常霍尔系数,反常霍尔电阻率的温度稳定性好。

著录项

  • 公开/公告号CN110129736B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南开大学;

    申请/专利号CN201910369713.8

  • 发明设计人 程雅慧;郑灵程;刘晖;

    申请日2019-04-30

  • 分类号C23C14/24(20060101);C23C14/06(20060101);H01L43/10(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 300071 天津市南开区卫津路94号南开大学

  • 入库时间 2022-08-23 12:07:32

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