公开/公告号CN111220068B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
申请/专利号CN202010125121.4
申请日2020-02-27
分类号G01B9/02(20060101);G01B11/25(20060101);G06T7/11(20170101);
代理机构51220 成都行之专利代理事务所(普通合伙);
代理人唐邦英
地址 621000 四川省绵阳市绵山路64号
入库时间 2022-08-23 12:07:10
机译: 通过白光干涉测量法确定样品上定义表面轮廓的多个空间位置的高度的方法和装置
机译: 通过白光干涉测量确定表面轮廓的样品中多个空间位置的高度的方法和装置
机译: 通过白光干涉测量法确定样品上定义表面轮廓的多个空间位置的高度的方法和设备