一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置及方法，本发明在照明系统加入微显示器并能够将不同的空间图案投影在样品表面；在测量时，依据采集的样品图像并结合样品的特征，对样品的测量区域进行划分，形成不同的照明图案；将照明图案输入至微显示器，对相邻区域进行非同步的空间照明和白光干涉测量，避免相邻点之间由于多次反射而引起的相干干涉信号干扰；然后将测量的多组的表面高度分布进行组合，进而获得整个表面的高度分布。本发明采用空间图案照明的方法抑制了白光干涉测量微沟槽阵列等样品时相邻点之间的干扰，能够无损快速检测样品。