公开/公告号CN108027502B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN201680055946.5
发明设计人 H.沃尔特;
申请日2016-09-06
分类号G02B26/06(20060101);G03F7/20(20060101);G02B27/00(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军;王蕊瑞
地址 德国上科亨
入库时间 2022-08-23 12:05:34
机译: 光学校正装置,具有这种光学校正装置的投影物镜以及微囊的具有这种投影物镜的光刻设备
机译: 2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
机译: 用于校正色差的物镜,用于向光学信息记录介质记录或从光学信息记录介质中再现,以及具有该物镜的光学拾取装置