光学校正装置，具有这样的光学校正装置的投射物镜，以及具有这样的投射物镜的微光刻设备

摘要

本发明涉及一种光学校正装置，其包括沿着光轴(16)接连布置的第一校正部件和第二校正部件(12，13，14)。该第一校正部件和第二校正部件(12，13，14)设置有非球面轮廓(18，20)，该非球面轮廓在该光学校正装置(10a，10b，10c)的零位中至少近似地总计为零。该光学校正装置还包含操纵器，其以第一速度在第一方向(22)上位移该第一校正部件(12)，且以第二速度在第二方向(24)上位移该第二校正部件(14)，该第一速度大于该第二速度。