具有角度控制的等离子体显示屏介质保护膜形成装置

摘要

具有角度控制的等离子体显示屏介质保护膜形成装置，包括镀膜室，其上方设置有基板传输机构和加热器，其开口处设置开口板，其内部设置环形炉床，镀膜室的壁上与炉床对应处设置电子枪，在镀膜室内还设置有角度控制装置。本发明由于采用了角度控制装置，使蒸发出的MgO膜料的上靶角度得到有效控制，制备得到的MgO介质保护膜具有更好的二次电子发射系数、抗离子轰击能力等，从而增加了等离子体显示板的动态裕度和显示板亮度等的均匀性，降低了对介质层、放电电极和障壁等制作均匀性的要求，提高了显示板的品质，提高了工效，降低了生产成本。