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公开/公告号CN111183509B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201880064327.1
发明设计人 C·L·伊加图亚;S·克里许南;
申请日2018-10-08
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘丽楠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:04:41
机译: 高反射膜层上高吸收膜层的光学测量
机译: 高反射膜叠层上高吸收膜层的光学测量
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