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制造压力传感器测量元件的方法和由此获得的压力传感器测量元件

摘要

本发明的目的是经济上节省地生产压力测量传感器元件,并且根据一个方面,涉及一种用于生产用于压力传感器的压力传感器测量元件的方法,该压力传感器测量元件包括至少一个膜和保护该膜的覆盖物,该压力传感器元件利用逐层生成式生产方法生产。这使得例如可以容易地构造用于检测压力和其他参数的组合传感器。也可以引入用于加固或用于影响共振频率或用于影响热传导的结构。

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