高精度电容式压力传感器测量方法

摘要

提出了一种高精度、低成本的电容式压力传感器的测量方法.用RC振荡器将电容式传感元件的变化调制为时变频率信号,用SSP1492芯片测量该频率变化量,并送入C8051F021单片机,用高阶多项式完成频率变化到压力变化的解算,实现了高精度压力测量.实验结果显示:该方法用于电容式压力传感器的测量精度优于0.02%FS.