一种PGC相位解调法中相位延迟补偿方法

摘要

本发明公开了一种PGC相位解调法中相位延迟补偿方法。正弦相位调制干涉信号在放大滤波后由模数转换器转换为数字干涉信号，对数字干涉信号同时进行一阶、二阶谐波的正交下混频，获得两对正交谐波幅值信号，运用两对正交谐波幅值信号直接提取出相位延迟的一倍角与二倍角的正余弦值作为修正系数，用修正系数乘以相应的正交谐波幅值信号再通过加法运算就可获得不受相位延迟影响的新谐波幅值信号，再通过反正切运算获得待测相位。本发明无需对相位延迟进行求解就可补偿相位延迟，避免了相位延迟复杂的求解过程，解决了PGC相位解调技术中相位延迟引起的非线性误差难以实时补偿的问题，提高了相位测量精度，广泛应用于激光干涉精密测量技术领域。