公开/公告号CN111266934B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-25
原文格式PDF
申请/专利权人 湖南大学;
申请/专利号CN202010131793.6
申请日2020-02-29
分类号B24B1/00(20060101);B24B13/00(20060101);B24B49/12(20060101);B24B51/00(20060101);C23C14/08(20060101);C23C14/14(20060101);C23C14/30(20060101);G02B5/20(20060101);
代理机构11297 北京睿博行远知识产权代理有限公司;
代理人刘桂荣
地址 410082 湖南省长沙市麓山南路1号
入库时间 2022-08-23 12:01:11
机译: 温度免疫自参考Fabry-Pérot腔传感器
机译: Fabry-Pérot干涉仪和相关制造工艺
机译: Fabry-Pérot干涉仪及其制造工艺