一种用于检测晶圆粗加工表面清洁程度的设备及方法

摘要

本发明公开了一种用于检测晶圆粗加工表面清洁程度的设备及方法。该设备包括载物平台、施压机构、晶圆限位滑块；施压机构包括支架和施压长臂，支架设置在载物平台上表面靠近端侧的位置，施压长臂的一端连接在支架上，并可绕连接位置上下摆动，施压长臂的另一端设有一组轴承，施压长臂的中间位置设有加重定位销，用来加载砝码；晶圆限位滑块设置在施压长臂下方的载物平台上，用于限定晶圆。检测方法为：将待测晶圆放置在载物平台上，用晶圆限位滑块将晶圆卡住，取一定性滤纸放在轴承与待测晶圆之间；匀速拉动定性滤纸，待滤纸纸条全部拉出后，测定滤纸与待测晶圆接触面上的清洁程度。本发明可以对晶圆清洁效果做出客观的质量评价。