一种介电常数系列可调的低温共烧电介质材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种介电常数系列可调的低温共烧电介质材料，所述低温共烧电介质材料包含氧化锆主相和硅基非晶相填充料，所述氧化锆主相和硅基非晶相填充料的重量之比为：氧化锆主相：硅基非晶相填充料＝40～65：35～60；所述SiO₂在所述硅基非晶相填充料中的重量百分含量≥50％。本发明通过控制氧化锆主相和硅基非晶相填充料的比例，所得材料的介电常数在7～12较宽的范围内连续可调，而且介电损耗可低至0.1％@1MHz。该材料体系可在800～900℃烧结，能够与银电极兼容共烧，可以用作低温共烧电介质材料。本发明还公开了所述介电常数系列可调的低温共烧电介质材料的制备方法。