一种交流大功率MW级恒温调压自动化控制等离子电源

摘要

本发明涉及一种交流大功率MW级恒温调压自动化控制等离子电源，包括：三相电源输入装置、变压箱、反应箱以及气体控制箱；反应箱包括高温加热装置、若干等离子反应柜以及第一通道口，等离子反应柜竖直平均划分为第一区域以及第二区域，等离子反应柜包括换气口、继电器、若干加热组、半导体工作块以及极化电源；气体控制箱包括工作气体箱以及保护气体箱，工作气体箱通过主第一气体通道连接换气口；通过对工作气体进行一定比例的混合，使得添加进等离子反应柜中的混合气体既能够快速提供电能也能够持续提供电能，使得等离子电源供电更加平均，不会出现供电的波动。