特别适用于高频应用的竖向接触探针和包含其的测试头

摘要

描述了一种用于电子器件测试设备的测试头的接触探针(21)，该探针包括在相应的端部(24,25)之间沿纵向方向延伸的探针主体(20C)，所述端部适于接触相应的接触垫，第二端是适于抵靠所述被测器件(26)的接触垫(26A)上的接触尖端(25)，每个竖向接触探针(21)的主体(22)的长度小于5000μm并且包括沿其纵向尺寸延伸的至少一个穿通开口(28)。便利地，至少一个穿通开口(28)由填充材料(36)填充，以便在主体(22)中限定至少一个第一侧向部分和至少一个第二侧向部分(22a，22b)，其彼此平行并且通过在穿通开口(28)处由填充材料(36)实现的连接中心部分(22c)彼此连接，由填充材料(36)制成的连接中心部分(22c)用作加强元件。