公开/公告号CN108374153B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 南京大学;
申请/专利号CN201810042756.0
申请日2018-01-17
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/16(20060101);C23C14/58(20060101);B82Y30/00(20110101);
代理机构32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);
代理人陈建和
地址 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
入库时间 2022-08-23 11:58:28
机译: 在大面积上制造高度有序的纳米柱或纳米孔结构的方法
机译: 在大面积上制造高度有序的纳米柱或纳米孔结构的方法
机译: 在大面积上生产高度有序的纳米毛或纳米结构的方法