基于全波段减反的单晶硅表面复合微结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于全波段减反的单晶硅表面复合微结构及其制备方法，包括以下步骤(1)～(4)中部分或全部，其中，每个步骤执行一次或多次；(1)对硅片亲水处理，配制聚苯乙烯小球混合溶液，在硅片表面铺设掩体聚苯乙烯小球；(2)通入氧气进行刻蚀，然后通入六氟化硫、八氟环烃烷，进行刻蚀‑钝化‑刻蚀循环，得到具有纳米柱结构的单晶硅；(3)将具有纳米柱结构的单晶硅浸入含有硝酸银的酸性刻蚀液中进行表面腐蚀，得到具有纳米铅笔状结构的单晶硅；(4)在具有微结构的单晶硅进行磁控溅射，在其正面或反面或正反两面镀上减反层。本发明有效地提升了对全波段太阳能的减反效果，从而提高了太阳能电池的转换效率。