一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法

摘要

本发明公开了一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法，属于薄膜制备技术领域。该AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是采用高功率脉冲磁控溅射技术和脉冲直流磁控镀膜技术在基体上制备而成，制备过程为：降低偏压至‑50～‑150V，N₂流量50～150sccm，Ar流量50～250sccm，N₂和Ar总流量300sccm，沉积压强1.0～2.5Pa，CrMo靶溅射功率0.1～0.9kW，AlCrSi靶功率0.2～1.5kW。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减磨特性，可以显著降低刀‑屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。