基于反射原理的气浮主轴回转误差检测及补偿装置与方法

摘要

本发明公开了基于反射原理的气浮主轴回转误差检测及补偿装置与方法。目前气浮轴承的回转误差主要采用砝码式或弹簧式进行补偿，无法实现实时检测和精准补偿。本发明包括进气压力控制阀、辅助测量反射台、激光发射器、径向气浮轴承和测量敏感元件；当出现激光发射器发射的激光反射在对应测量敏感元件上不在预定位置时，控制器判定气浮主轴出现回转运动误差，记录预定位置未接收到激光的各测量敏感元件的编号，并控制对应的各进气压力控制阀调节进气压力，进而调节径向气浮轴承对应进气区的气体压力，给气浮主轴对应方向的运动精度补偿。本发明采用光学测量原理，能实现对主轴回转误差实时、在位检测，检测更准确，补偿更精准。