公开/公告号CN111884031B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市海目星激光智能装备股份有限公司;
申请/专利号CN202010645860.6
申请日2020-07-07
分类号H01S3/102(20060101);H01S3/106(20060101);H01S3/091(20060101);
代理机构44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司;
代理人谢岳鹏
地址 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区环观南路26号101
入库时间 2022-08-23 11:57:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-04
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01S 3/102 专利号:ZL2020106458606 变更事项:专利权人 变更前:深圳市海目星激光智能装备股份有限公司 变更后:海目星激光科技集团股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518000 广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区环观南路26号101 变更后:518110 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区观盛五路科姆龙科技园B栋301(一照多址企业)
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
机译: 重叠精度测量装置的测量条件的优化方法和曝光装置中对准标记形状或对准标记测量系统的优化方法
机译: 圆捆打包机上捆包密度的优化方法
机译: 用于优化复杂技术系统的系统优化方法,例如优化汽车车身设计参数,从而生成逐次逼近模型,直到获得足够的精度为止