一种大口径凸自由曲面反射镜镜面面形检测系统和方法

摘要

本发明公开了一种大口径凸自由曲面反射镜镜面面形检测系统和方法，属于先进光学系统技术领域。本发明通过将曲面计算全息图与球面反射镜相结合，对自由曲面反射镜完成零位补偿。为实现检测光路中干涉仪、曲面计算全息图、球面反射镜及待测凸自由曲面反射镜的精确对准，在曲面计算全息图上设计相应的功能区域，其中曲面计算全息图共包含凸面部分的干涉仪对准区域以及凹面部分主检测区域、投射十字线区域及球面反射镜对准区域等多个衍射区域，上述区域相结合共同保证了检测光路中各光学元件的精确对准及自由曲面面形结果的测量获得。本发明具有检测精度高、检测场地环境及尺寸要求简单等优点，为现代先进光学系统的制造开发提供保证。