安装在晶片上的粘接膜的断裂方法及断裂装置

摘要

一种安装在晶片上的粘接膜的断裂方法，将安装在晶片的背面上的粘接膜，在与环状的框架上安装的保护带的表面粘贴的状态下，沿着切割道断裂，该晶片在表面格子状地形成有多个切割道，并且在通过多个切割道划分的多个区域形成有功能元件，冷却粘接膜并扩展保护带，沿着功能元件的外周缘断裂粘接膜。